完整的真空泵分類

一、氣體輸送泵

1、變容泵

①往復式真空泵—主要包括隔膜真空泵、活塞往復真空泵

②旋轉泵

a、油封泵—旋片式真空泵、定片真空泵、滑閥真空泵

b、無油泵—往復式真空泵、多級羅茨真空泵、爪式真空泵、渦旋真空泵、螺桿真空泵

c、液環真空泵—水環式真空泵、油環真空泵

d、羅茨真空泵—普通羅茨真空泵、氣體循環冷卻羅茨真空泵

2、動量傳輸泵

a、分子泵—渦旋分子泵、牽引分子泵、復合分子泵

b、噴射泵—水噴射真空泵、氣體噴射泵、水蒸氣噴射泵

c、擴散泵—油擴散泵、油擴散增壓泵

二、氣體捕集泵

分子篩吸附泵、吸氣劑泵、鈦升華泵、濺射離子泵、低溫泵、冷凝泵